Shanghai North Glass Technology Industrial Co., Ltd.

Thiết bị phún xạ

Thiết bị phún xạ được phát triển và sản xuất bởi NorthGlass bao gồm catot plana/quay, thanh nam châm và khối kín. Chúng tôi cũng cung cấp thiết kế và chế tạo theo yêu cầu khách hàng cho các loại máy phủ hiện tại và hiện tại với các phần đã liệt kê phía trên.

Northglass cung cấp catot quay đơn, catot quay kép, catot plana đơn và catot plana kép. Mỗi catot bao gồm cực catot, nắp,phân bố khí, kết nối điện nước, đo đạc chân không, hệ thống điều khiển, v.v…

Khối kín

Northglass cung cấp ba seri khối kín bao gồm EB-CAC, EB-CB và EB-CS nhằm đáp ứng các nhu cầu khác nhau của khách hàng trong các lĩnh vực khác nhau.
Tất cả khối kin có thể được duy trì bởi nhân viên giàu kinh nghiệm huấn luyện cho người sử dụng và chương trình huấn luyện có thể thực hiện tại xưởng sản xuất của người dùng, tiết kiệm thời gian và cắt giảm chi phí đáng kể.

1. Seri EB-CAC
Mỗi cặp khối kín bao gồm đầu dẫn động và đầu điện/nước. Đầu dẫn động để quay mục tiêu và phần khác để kết nối điện/nước. Seri này có thể sử dụng trong hầu hết các loại catot của máy tráng phủ đối xứng.
Seri này có thể sử dụng trong máy tráng phủ bất đối xứng.

Seri Loại Dòng-tần số RPM Đường kính ống mục tiêu Chiều dài ống mục tiêu Điện áp an toàn
EB-CAC Hai đầu ≤320A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤3900mm < 1500V

2. Seri EB-CB
Bao gồm đầu chức năng và đầu hỗ trợ cho mỗi cặp. Đầu chức năng để quay mục tiêu và kết nối điện/nước, đầu còn lại phục vụ cho việc hỗ trợ.
Seri này có thể sử dụng trong máy tráng phủ bất đối xứng.

Seri Loại Dòng-tần số RPM Đường kính ống mục tiêu Chiều dài ống mục tiêu Điện áp an toàn
EB-CB Một đầu ≤320A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤3900mm < 1500V

3. EB-CS Series
Bao gồm đầu chức năng và đầu hỗ trợ cho mỗi cặp. Đầu chức năng để quay mục tiêu và kết nối điện/nước, đầu còn lại phục vụ cho việc hỗ trợ.
Seri này có thể sử dụng trong máy tráng phủ bất đối xứng.
Khoảng cách kính nền-mục tiêu có thể điều chỉnh dễ dàng nhờ phương pháp cài đặt hướng xuống.

Seri Loại Dòng-tần số RPM Đường kính ống mục tiêu Chiều dài ống mục tiêu Điện áp an toàn
EB-CS Một đầu ≤225A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤2500mm < 1500V
Thanh nam châm seri MB
Đặc trưng kỹ thuật:
  • Ống hỗ trợ nhôm ép đùn giúp nam châm và kẹp của nó tách biệt khỏi nước làm mát để tránh sự thay đổi của môi trường từ tính do bị nhúng chìm trong nước trong thời gian dài. Nó cải thiện độ cứng của thanh nam châm từ bên ngoài, và giảm dao động của vùng từ tính do ma sát giữa thép nam châm xoắn và ống mục tiêu.
  • Sự đồng đều của môi trường nam châm có thể được kiểm soát chính xác nhờ sử dụng cấu trúc điều chỉnh đầu trục vít.
  • Nước làm mát đẩy ra trực tiếp từ vị trí nhiệt độ cao của ống mục tiêu, loại bỏ nhiệt hiệu quả.
  • Dễ dàng và thuận tiện cho cài đặt và bảo trì.
Loại MB3300 MB2540 MB1400
Chiều dài thanh nam châm ( mm ) 3850 3192 1920
Độ bền từ tính >550GS
Độ đồng nhất ≤±1.0%
Khoảng điều chỉnh ≤±25%
Sản phẩm liên quan